Steue­rung und Über­wa­chung von Vakuumprozessen

Für die opti­ma­le Effi­zi­enz und best­mög­li­che Pro­dukt­qua­li­tät in der Ver­fah­rens­tech­nik ist die exak­te Ein­hal­tung von Drü­cken in vaku­u­m­un­ter­stüt­zen Pro­zes­sen ein wich­ti­ger Para­me­ter. Vac­test Vakuum­mess­ge­rä­te von Busch ver­ei­nen neue Ent­wick­lun­gen im Bereich der Vakuum­mess­tech­nik mit Fer­ti­gungs­qua­li­tät und bil­den ein umfas­sen­des Port­fo­lio akti­ver Vakuum­mess­ge­rä­te und Con­trol­ler. Somit kann auf jeden Pro­zess die pas­sen­de Mess­tech­nik abge­stimmt werden.
Wesent­li­che Merk­ma­le die­ser Gerä­te sind die robus­te Kon­struk­ti­on, eine hohe Zuver­läs­sig­keit und Mess­ge­nau­ig­keit. Dies macht sie zur idea­len Wahl für die Über­wa­chung und Steue­rung von Vaku­um­pro­zes­sen in Indus­trie und For­schung. Die­se moder­nen Tech­no­lo­gien erlau­ben einen gro­ßen Mess­be­reich von 1600 bis 5 · 10–10 Mil­li­bar, wodurch alle Vaku­um­ni­veaus prä­zi­se abge­deckt wer­den. Alle Sen­so­ren erfül­len inter­na­tio­na­le Nor­men und Bestim­mun­gen wie CE und RoHS.
Ver­schie­de­ne Sen­sor­tech­no­lo­gien der Vac­test Serie decken den gan­zen Bereich zwi­schen Grob­va­ku­um und Ultra­hoch­va­ku­um ab. Grund­sätz­lich kön­nen sie in zwei Haupt­ka­te­go­rien unter­teilt wer­den, in direk­te und indi­rek­te Druck­mes­sung. Das direk­te Mess­prin­zip ist unab­hän­gig vom Pro­zess­gas und basiert auf dem Druck, den der Mole­kül­fluss auf eine Mem­bran aus­übt. Die­se Metho­de wird haupt­säch­lich für Grob- und Fein­va­ku­um­pro­zes­se ver­wen­det. Bei einem höhe­ren Vaku­um­ni­veau wer­den indi­rek­te Mess­prin­zi­pi­en ver­wen­det, die auf spe­zi­el­len Eigen­schaf­ten des Pro­zess­ga­ses, wie Wär­me­leit­fä­hig­keit oder Ioni­sa­ti­ons­wahr­schein­lich­keit basie­ren. Im Gegen­satz zur direk­ten Mess­me­tho­de hän­gen die­se Prin­zi­pi­en von der Art des Pro­zess­ga­ses ab. Aus die­sem Grund muss für jedes Pro­zess­gas außer Luft oder Stick­stoff ein spe­zi­fi­scher Kor­rek­tur­fak­tor ange­wen­det werden.
Bei der Aus­wahl des rich­ti­gen Sen­sors sind eini­ge Fak­to­ren zu berück­sich­ti­ge. Neben den Pro­zess- und Umge­bungs­be­din­gun­gen spie­len vor allem der Druck­be­reich, die erfor­der­li­che Genau­ig­keit sowie die Gas­zu­sam­men­set­zung eine wich­ti­ge Rol­le, um opti­ma­le Mess­ergeb­nis­se zu erzie­len. Mit drei Pro­dukt­li­ni­en erfüllt Busch Vatest alle Anfor­de­run­gen an Genau­ig­keit, Mess­be­reich und Funk­ti­on eines jeden Vaku­um­sys­tems oder ‑pro­zes­ses.
Vac­test Digi­tal­trans­mit­ter sind High-End-Mess­ge­rä­te, die stan­dard­mä­ßig über zahl­rei­che Optio­nen ver­fü­gen. Ihre intel­li­gen­te Mikro­con­trol­ler-Archi­tek­tur bie­tet eine opti­ma­le Sen­sor­steue­rung sowie zahl­rei­che Ein­stell­mög­lich­kei­ten, wodurch sie die idea­le Lösung für eine Viel­zahl von Anwen­dun­gen sind. Vac­test Digi­tal­trans­mit­ter basie­ren auf der Pira­ni-Sen­sor­tech­no­lo­gie oder den Kom­bi­na­tio­nen Pirani/Kaltkathode oder Pirani/Heißkathode.
Vac­test Ana­log­trans­mit­ter haben ein kom­pak­tes, robus­tes und funk­tio­na­les Design. Dank ihrer aus­ge­zeich­ne­ten Mess­ge­nau­ig­keit und ‑sta­bi­li­tät sind die­se Trans­mit­ter die idea­le Lösung für zen­tra­li­sier­te Über­wa­chungs- und Steuerungssysteme.
Vac­test Mobi­le Mess­ge­rä­te sind die per­fek­te Hand­held-Lösung zur Qua­li­täts­si­che­rung bei War­tung und Vaku­um­pro­zes­sen. Die­se bat­te­rie­be­trie­be­nen Mess­ge­rä­te bie­ten zahl­rei­che Funk­tio­nen, wie eine USB-Schnitt­stel­le für Export und Anzei­ge von Daten, sowie einen Daten­log­ger und kön­nen selbst im Vaku­um ver­wen­det wer­den. Die­se Mess­ge­rä­te kön­nen bei­spiels­wei­se in einer Vaku­um­ver­pa­ckung ein­ge­schweißt wer­den, um den Druck in der Ver­pa­ckung zu mes­sen.
Vac­test Acti­ve Sen­sor Con­trol­ler run­den als kom­pak­te Steu­er­ein­heit für den gleich­zei­ti­gen Betrieb von meh­re­ren Vakuum­mess­ge­rä­ten die Pro­dukt­se­rie ab. Sie eig­nen sich sowohl für die Nut­zung als Desk­top­ge­rät als auch für die Rah­men­mon­ta­ge. Die Nut­zer­füh­rung ist intui­tiv und gewähr­leis­tet voll­stän­di­ge Kon­trol­le über jeden Trans­mit­ter. Para­me­ter wie der Gas­kor­rek­tur­fak­tor, Druck­ein­hei­ten, Soll­wer­te und wei­te­re nütz­li­che Funk­tio­nen sind ein­fach einstellbar.
Ergän­zend zu den Mess­ge­rä­ten gibt es mit dem Vac­test View­er eine kos­ten­lo­se Blue­tooth-Über­wa­chungs­an­wen­dung für Mobil­ge­rä­te mit Android-Betriebs­sys­tem, mit der die Druck­wer­te von bis zu 16 ver­bun­de­nen Sen­so­ren ange­zeigt wer­den kön­nen. Das Tool wur­de für den Blue­tooth-Daten­aus­tausch zwi­schen Soft­ware und Sen­sor kon­zi­piert und eig­net sich her­vor­ra­gend für War­tungs- oder Kali­brie­rungs­zwe­cke. Es kön­nen visu­el­le und akus­ti­sche Warn­mel­dun­gen für maxi­ma­le und mini­ma­le Druck­wer­te vor­ein­ge­stellt werden.