Posi­tio­nier­sys­tem mit hoher Langzeitstabilität

Bau­tei­le müs­sen in der Halb­lei­ter­indus­trie oder in Pho­to­nik-Anwen­dun­gen oft für ein­zel­ne Bear­bei­tungs­schrit­te prä­zi­se posi­tio­niert und dann sta­bil und zuver­läs­sig an Ort und Stel­le gehal­ten wer­den. Ähn­li­ches gilt z. B. auch für Pro­ben bei Rönt­gen­un­ter­su­chun­gen. Für sol­che und ähn­li­che Anwen­dun­gen bie­tet Phy­sik Instru­men­te (PI) mit dem Space­Fab Q‑845 jetzt eine pra­xis­ge­rech­te Lösung:

Das hoch­ge­naue par­al­lel­ki­ne­ma­ti­sche Posi­tio­nier­sys­tem kann Las­ten bis 1 kg in sechs Frei­heits­gra­den nicht nur mit Nano­me­ter­ge­nau­ig­keit posi­tio­nie­ren, son­dern auch lang­zeit­sta­bil in Posi­ti­on hal­ten. Die Basis bil­den sechs Line­ar­ti­sche, die in drei, jeweils um 90 Grad ver­setz­ten Zwei­er-Sta­peln ange­ord­net sind und auf eine beweg­li­che Platt­form wir­ken. Dabei wer­den in X- und Y‑Richtung maxi­ma­le Stell­we­ge von ±7 mm und in Z‑Richtung ±5 mm erreicht. Die Rota­ti­ons­be­rei­che der drei Dreh­ach­sen lie­gen bei maxi­mal ±7° (in θX, θY) bzw. ± 8 Grad (in θZ). Trei­ben­de Kraft der Line­ar­ti­sche sind pie­zo­elek­tri­sche Träg­heits­an­trie­be. Durch ihre Selbst­hem­mung im Ruhe­zu­stand wird beim Hal­ten der erreich­ten Posi­ti­on kei­ne Ener­gie ver­braucht und es ent­steht kei­ne Abwär­me. Dadurch bie­tet sich das Posi­tio­nier­sys­tem auch für Anwen­dun­gen im Vaku­um an (vaku­um­kom­pa­ti­bel bis 10–6 hPa).

Mon­ta­ge in belie­bi­ger Raumanordnung

Die Mon­ta­ge des lang­zeit­sta­bi­len Posi­tio­nier­sys­tems ist in belie­bi­ger Rauman­ord­nung mög­lich. Die Qua­li­tät der vor­ge­spann­ten kar­da­ni­schen und linea­ren Lager ermög­licht die glei­che Per­for­mance in „Über-Kopf“ oder „Seit­lich-Hän­gend“ Anwen­dun­gen. Die Kon­struk­ti­on lässt sich an den jewei­li­gen Last­fall anpas­sen, aber auch ande­re Kun­den­wün­sche sind inner­halb kur­zer Zeit rea­li­sier­bar. Für die Ansteue­rung emp­fiehlt sich der Mul­ti­achs-Con­trol­ler C‑886, der eine ein­fa­che Sys­tem­in­te­gra­ti­on und mit Hil­fe der Soft­ware PIMi­kro­Mo­ve eine bedie­ner­freund­li­che Ansteue­rung ermög­licht. Zur Inte­gra­ti­on in exter­ne Appli­ka­tio­nen wie Mat­lab, Lab­View etc. gibt es ent­spre­chen­de Soft­ware­mo­du­le. Mit dem Con­trol­ler las­sen sich bei Bedarf über Erwei­te­rungs­kar­ten noch Antrie­be für zwei zusätz­li­che Ach­sen ansteuern.