Die „All-in-One“-Lösung für die Flüssig-Dampfdosierung

Eine neue Genera­ti­on von Dampf­do­sier­mo­du­len der VDM-Serie wur­de für die direk­te Injek­ti­on von Pre­cur­so­ren in Pro­zess­kam­mern ent­wi­ckelt. Die­se kom­pak­ten Sys­te­me umfas­sen auf kleins­ten Raum mit einem Gehäu­se einen prä­zi­sen Mas­se­durch­fluss-Flüs­sig­keits­reg­ler, einen oder zwei Mas­sen­durch­fluss­reg­ler für das Trä­ger­gas und eine auto­ma­tisch tem­pe­ra­tur­ge­re­gel­te Misch- und Ver­damp­fungs­ein­heit. Die Flüs­sig­keit wird im kal­ten Zustand zur Ver­fü­gung gestellt. Das Ver­damp­fer­mo­dul bringt das Flu­id defi­niert und prä­zi­se gere­gelt in die Gas-Dampf­pha­se zum Pro­zess. Die Modu­le sind mit einem 1,8”-TFT-Display und Tas­ten aus­ge­stat­tet, Es ist sowohl eine loka­le Bedie­nung und Aus­le­sung als auch eine exter­ne Steue­rung mög­lich. Die Sys­te­me kön­nen z.B. auch über digi­ta­le Kom­mu­ni­ka­ti­on (RS232 oder FLOW-BUS) betrie­ben wer­den. Optio­nal sind die Anla­gen mit einem zusätz­li­chen Mas­sen­durch­fluss­reg­ler für Ver­dün­nun­gen und mit zusätz­li­cher Begleit­hei­zung des Aus­gangs bis zum Pro­zess lieferbar.

Die kom­pak­ten „Plug-and-work“-Module kön­nen (gesät­tig­te) Gas­flüs­se im Bereich von 100 ml_n/min bis 10 l_n/min erzeu­gen. Die ange­wand­te CEM-Tech­no­lo­gie (Con­trol­led Eva­po­ra­ti­on Mixing) ist für Pro­zes­se unter atmo­sphä­ri­schen Bedin­gun­gen oder unter Vaku­um geeig­net und in der Lage, Flüs­sig­keits­mi­schun­gen eben­so wie fes­te Tei­le in Lösungs­mit­teln zu ver­damp­fen. Spe­zi­el­le Pur­ge- und Eva­ku­ie­rungs­an­schlüs­se ermög­li­chen den Betrieb auch mit sehr reak­ti­ven Medi­en. Die Ver­damp­fer der VDM-Serie sind für Dampf­ab­schei­dungs- und Beschich­tungs­pro­zes­se bei der Her­stel­lung von Halb­lei­ter­chips, Dis­plays und Solar­zel­len ide­al geeig­net. Außer­dem kön­nen die Modu­le für die Kali­brie­rung von Ana­ly­se­ge­rä­ten wie Gas­chro­ma­to­gra­phen und Mas­sen­spek­tro­me­tern, für die Dosie­rung von Anäs­the­ti­ka sowie für die Befeuch­tung von Brenn­stoff­zel­len ein­ge­setzt werden.