Che­mi­sches Fil­ter­sys­tem für ESG-kon­for­me Strategien

Der Ori­gi­nal Design Manu­fac­tu­rer-Zulie­fe­rer (ODM) für Halb­lei­ter- und Rein­raum­fer­ti­gun­gen Getek, stellt die Fil­ter­se­rie CHEMSORB‑R vor. Das che­mi­sche Fil­ter­sys­tem wur­de spe­zi­ell zur effek­ti­ven Ent­fer­nung mole­ku­la­rer Luft­ver­un­rei­ni­gun­gen (AMC) sowie zur Kon­trol­le flüch­ti­ger orga­ni­scher Ver­bin­dun­gen (VOCs) ent­wi­ckelt – und unter­stützt damit aktiv ESG-kon­for­me (Umwelt‑, Sozi­al- und Gover­nan­ce-Kri­te­ri­en) Betriebsstrategien.

Dank voll­stän­dig inte­grier­ter Fer­ti­gung kann Getek sei­ne che­misch adsor­bie­ren­den Fil­ter­me­di­en prä­zi­se an die Bedin­gun­gen vor Ort anpas­sen – basie­rend auf TAFS (Total Air Fil­tra­ti­on Solu­ti­on), dem unter­neh­mens­ei­ge­nen Gesamt­an­satz zur mole­ku­la­ren Luft­rein­hal­tung. So wird sicher­ge­stellt, dass das Fil­ter­sys­tem exakt auf das jewei­li­ge Kon­ta­mi­na­ti­ons­pro­fil abge­stimmt ist. Die CHEM­SORB-R-Fil­ter erfas­sen gezielt sau­re und basi­sche Gase, mole­ku­la­re Ver­bin­dun­gen wie IPA, Ace­ton, Ozon (O₃), Reak­ti­ons­pro­duk­te sowie Bor- und Phos­phor­ver­bin­dun­gen. Durch die prä­zi­se Abmi­schung des Adsorp­ti­ons­me­di­ums wird eine hohe Abschei­de­leis­tung bei gleich­zei­tig nied­ri­gem Anfangs­druck­ver­lust erzielt – für maxi­ma­le Ener­gie­ef­fi­zi­enz und ver­län­ger­te Wartungsintervalle.

Die CHEM­SORB-R-Serie ver­fügt über ein modu­la­res Fil­ter­ein­schub­sys­tem für den Ein­satz in MAU-Zuluft­an­la­gen (Make-up Air Units, zen­tra­le Zuluft­sys­te­me). Das werk­zeug­lo­se War­tungs­kon­zept ermög­licht es dem War­tungs­per­so­nal, die Fil­ter­ein­schü­be schnell und unab­hän­gig aus­zu­tau­schen – dies redu­ziert Aus­fall­zei­ten und mini­miert Abfall. Die Stan­dard­rah­men­ab­mes­sun­gen (610 B × 610 H × 450 Mil­li­me­ter T) ermög­li­chen den Ein­satz meh­re­rer Ein­schü­be für eine opti­mier­te Luft­füh­rung. Sowohl die Abmes­sun­gen der Ein­schü­be als auch die Rah­men­ma­te­ria­li­en (Edel­stahl, ver­zink­ter Stahl, ABS-Kunst­stoff) las­sen sich an stand­ort­spe­zi­fi­sche Anfor­de­run­gen anpas­sen und bie­ten eine hohe Kor­ro­si­ons­be­stän­dig­keit – opti­miert für kri­ti­sche HVAC-Anwen­dun­gen in Rein­räu­men und der Halb­lei­ter­fer­ti­gung. Dank der prä­zi­se kon­stru­ier­ten Struk­tur der Ein­schü­be ist kei­ne Baum­woll­aus­klei­dung erfor­der­lich, um Medi­en­le­cka­gen zu ver­hin­dern – das redu­ziert den Mate­ri­al­ein­satz und ver­ein­facht die Hand­ha­bung. Dar­über hin­aus lässt sich das Adsorp­ti­ons­me­di­um vor Ort ein­fach aus­tau­schen und nach­fül­len, wäh­rend das Gehäu­se des Fil­ter­ein­schubs wie­der­ver­wen­det wird – was die Lebens­dau­er der Kom­po­nen­ten ver­län­gert und die Nach­hal­tig­keit verbessert.

Die CHEM­SORB-R-Serie för­dert Nach­hal­tig­keit in mehr­fa­cher Hin­sicht. Der gerin­ge Druck­ver­lust der Fil­ter redu­ziert den Ener­gie­ver­brauch deut­lich – ohne die Luft­för­der­leis­tung zu beein­träch­ti­gen. Die indi­vi­du­ell ange­pass­te Medi­en­mi­schung ver­län­gert die Stand­zeit der Fil­ter und senkt den War­tungs­auf­wand. Dar­über hin­aus ermög­li­chen das modu­la­re Design von Ein­schü­ben und Rah­men den geziel­ten Aus­tausch und das Nach­fül­len des Adsorp­ti­ons­me­di­ums – für eine mehr­fa­che Wie­der­ver­wen­dung. Kor­ro­si­ons­be­stän­di­ge Rah­men erhö­hen die Lang­le­big­keit der Kom­po­nen­ten, ver­rin­gern den Abfall erheb­lich und tra­gen zur Ein­hal­tung umwelt­freund­li­cher Beschaf­fungs­richt­li­ni­en und Nach­hal­tig­keits­stan­dards bei.

Der TAFS-Ansatz kom­bi­niert stand­ort­spe­zi­fi­sche Ana­ly­sen, mole­ku­la­re Dia­gnos­tik und eine maß­ge­schnei­der­te Pro­duk­ti­on, um das Fil­ter­sys­tem exakt an das jewei­li­ge Kon­ta­mi­na­ti­ons­pro­fil der Anla­ge anzu­pas­sen. Der Pro­zess beginnt mit einer umfas­sen­den Ana­ly­se vor Ort und Dia­gnos­tik auf mole­ku­la­rer Ebe­ne, gefolgt von der kun­den­spe­zi­fi­schen Aus­le­gung und Leis­tungs­op­ti­mie­rung. Im Gegen­satz zu her­kömm­li­chen Fil­ter­sys­te­men wer­den TAFS-Lösun­gen voll­stän­dig intern ent­wi­ckelt und gefer­tigt – für eine prä­zi­se Abstim­mung auf die jewei­li­gen Stand­ort­be­din­gun­gen, ver­bes­ser­te Ener­gie­ef­fi­zi­enz, ver­län­ger­te Fil­ter­stand­zei­ten und die Erfül­lung moder­ner ESG-Anforderungen.

Die CHEM­SORB-R-Serie erfüllt zen­tra­le inter­na­tio­na­le Stan­dards, dar­un­ter ISO 9001, ISO 14001, ISO 45001, ISO 14064–1, ISO 14067, RoHS, REACH sowie ANSI/ASHRAE Stan­dard 145.1. Die­se Kon­for­mi­tät gewähr­leis­tet Zuver­läs­sig­keit, Sicher­heit und regu­la­to­ri­sche Absi­che­rung für Anwen­dun­gen in Rein­räu­men und der Hightech-Fertigung.