Ölge­dich­te­te Drehschieber-Vakuumpumpen

Mit der leis­tungs­star­ken, robus­ten Bau­rei­he E2S für nied­ri­ges und mitt­le­res Vaku­um in Indus­trie und For­schung hat Edwards Vacu­um, ein Ent­wick­ler und Her­stel­ler von Vaku­um­pum­pen, eine neue ölge­dich­te­te Dreh­schie­ber-Vaku­um­pum­pe her­aus­ge­bracht. Die E2S ist ein­fach kon­stru­iert und für unter­schied­li­che Stan­dard­an­wen­dun­gen geeig­net. „Sie pumpt schnell ab, bewäl­tigt anfal­len­de Dämp­fe und trägt mit ihrem ruhi­gen Lauf zur Reduk­ti­on des Lärm­pe­gels in den Arbeits­um­ge­bun­gen bei“, fasst Pro­dukt­ma­na­ge­rin Jes­sie Huang die Vor­tei­le der Vaku­um­pum­pe zusammen.

Durch die moder­ne tech­ni­sche Aus­le­gung stei­gern Nut­zer mit der Dreh­schie­ber­pum­pe die Wirt­schaft­lich­keit ihrer Pro­zes­se. Dies basiert nicht zuletzt auf dem hohen Saug­ver­mö­gen der E2S. Damit ver­kür­zen sich die Zyklus­zei­ten, und die Pro­duk­ti­ons­ka­pa­zi­tät in Stan­dard­pro­zes­sen steigt. „Ein wich­ti­ger Vor­teil: Der höhe­re Durch­satz wird ohne zusätz­li­chen Ener­gie­be­darf erreicht, sodass sich der öko­lo­gi­sche Fuß­ab­druck nicht ver­grö­ßert“, ver­si­chert Edwards-Pro­dukt­ma­na­ger Jes­sie Huang. Das Saug­ver­mö­gen der E2S beträgt laut Jes­sie Huang 900 Kubik­me­ter pro Stun­de und ermög­licht ein End­va­ku­um von 3 x 10–3 mbar. Im End­druck ent­spricht die Per­for­mance der E2S somit den Anfor­de­run­gen indus­tri­el­ler Anwen­dun­gen. Für spe­zi­el­le Leis­tun­gen bie­tet Edwards optio­nal Stan­dard­kom­bi­na­tio­nen aus zwei­stu­fi­gen E2S-Pum­pen inklu­si­ve mecha­ni­schem Boos­ter an.

Die moder­ne Tech­nik der kom­pak­ten Dreh­schie­ber­pum­pe spie­gelt sich auch im benut­zer­freund­li­chen Design wider. So ist die E2S auch in der ein­fa­chen, intui­ti­ven Hand­ha­bung ent­lang der moder­nen Bedürf­nis­se ihrer Anwen­der ent­wi­ckelt wor­den. Ent­spre­chend funk­tio­nal und ergo­no­misch sind die Bedien­ele­men­te gestal­tet, die eine hohe Sicher­heit gegen Fehl­be­die­nun­gen bie­ten. Auch der ruhi­ge Lauf der E2S-Bau­rei­he geht auf ihre Tech­nik zurück. Die geräusch­ar­men Gleit­la­ger bestehen aus gesin­ter­tem Stahl, sind ein­fach auf­ge­baut und trock­nen auch bei gerin­ger Ölschmie­rung nicht aus. Für die kon­ti­nu­ier­li­che Schmie­rung über den gesam­ten Druck­be­reich hat Edwards eine Ölpum­pe integriert.

Zur Ver­mei­dung von Ölver­lus­ten ent­hält die Dreh­schie­ber­pum­pe zwei Wel­len­dich­tun­gen. Für einen mög­lichst hohen, sta­bi­len End­druck und eine höhe­re Dicht­heit hat Edwards über­dies die Zylin­der­boh­rung opti­miert. Zusätz­lich ver­mei­det ein ein­ge­bau­ter Ölfil­ter Ölle­cka­gen und schützt das Pum­pen­in­ne­re vor Par­ti­keln und Ver­un­rei­ni­gun­gen. Wenn es die Anwen­dung erfor­dert, lässt sich mit Hil­fe der ein­stell­ba­ren Gas­bal­last­funk­ti­on die Was­ser­dampf­to­le­ranz der E2S erhö­hen. In der Stan­dard­ein­stel­lung wer­den dar­über gerin­ge Was­ser­dampf­men­gen abge­pumpt und zugleich bleibt ein guter End­druck erhalten.

Edwards bie­tet die E2S-Bau­rei­he in drei Pum­pen­grö­ßen an – als E2S 45, E2S 65 und E2S 85. Die Dreh­schie­ber­pum­pe eig­net sich schwer­punkt­mä­ßig für die Vaku­um­t­rock­nung und Ent­gasung, für die Wär­me­be­hand­lung und Vaku­um-Öfen; fer­ner für Dicht­heits­prü­fun­gen von Kom­po­nen­ten und Sys­te­men in der Auto­mo­bil­fer­ti­gung sowie für Beschich­tungs­an­wen­dun­gen, For­schung und Ent­wick­lung sowie für Ana­ly­tik- Anwendungen.