Clean­Star High Puri­ty Membranventil

 
Seit vie­len Jah­ren setzt die Halb­lei­ter­indus­trie welt­weit erfolg­reich Mem­bran­ven­ti­le der GEMÜ Clean­Star Bau­rei­he ein. GEMÜ Kun­den schät­zen die Vor­tei­le der Bau­wei­se sowie die Viel­zahl mög­li­cher Anwen­dun­gen auf­grund der durch­dach­ten Abstu­fung der Antriebs­grö­ßen 1 bis 3. Nun erwei­tert der Ven­til­spe­zia­list sei­ne GEMÜ Clean­Star Fami­lie um die Antriebs­grö­ße 4 und setzt dabei Maß­stä­be bezüg­lich Foot­print und Durch­fluss. 
Die Anfor­de­run­gen der Halb­lei­ter­indus­trie an die Ven­til­tech­nik wach­sen ste­tig. Immer klei­ner wer­den­de Struk­tu­ren auf den Mikro­chips erfor­dern maxi­ma­le Rein­heit und Par­ti­kel­frei­heit der Flu­ide. Gleich­zei­tig erhöh­te sich durch grö­ßer wer­den­de Wafer­durch­mes­ser in den ver­gan­ge­nen Jah­ren auch die benö­tig­te Men­ge an Pro­zess­me­di­en. Bei­den Ent­wick­lun­gen trägt GEMÜ mit der Ein­füh­rung der neu­en Antriebs­grö­ße Rech­nung. Die neue AG 4 ist in den Nenn­wei­ten 1½ Zoll und 2 Zoll ver­füg­bar und die medi­en­be­rühr­ten Tei­le bestehen aus PFA bzw. PTFE TFM. Die­se Kom­bi­na­ti­on ermög­licht es, gro­ße Medi­en­men­gen zu trans­por­tie­ren und bereits auf der Ver­sor­gungs- und Ver­tei­lungs­ebe­ne einer Halb­lei­ter­fer­ti­gung hoch­rei­ne Ven­til­tech­nik ein­zu­set­zen. Gleich­zei­tig sorgt das kom­pak­te GEMÜ Clean­Star Design für ein her­aus­ra­gen­des Durch­fluss/Footprint Ver­hält­nis und wird zukünf­tig die Mem­bran­ven­ti­le GEMÜ 600 HP sowie GEMÜ 677 HP/HPW ablösen.
GEMÜ Clean­Star: Ein bewähr­tes Design erobert neue Anwen­dun­gen 
Die Vor­zü­ge der GEMÜ Clean­Star Bau­rei­he sind zahl­reich. Die zen­tra­le Über­wurf­mut­ter schafft eine ver­läss­li­che Ver­bin­dung zwi­schen Antrieb und Ven­til­kör­per und ver­zich­tet dabei kom­plett auf den Ein­satz von Metall­tei­len. Das Steg­de­sign (weir style) sorgt für stress­ar­me Medi­en­füh­rung, mini­miert Toträu­me und gibt kei­ne Durch­fluss­rich­tung vor. Die außen­lie­gen­den Tei­le wei­sen durch den Ein­satz von PVDF eine sehr gute che­mi­sche Bestän­dig­keit auf. Eine Lecka­ge­boh­rung sowie Lang­lö­cher zur fle­xi­blen Mon­ta­ge der Ven­ti­le sind bereits in das Kör­per­de­sign inte­griert. Zudem ver­fügt die Bau­rei­he seri­en­mä­ßig über eine Stellungsanzeige.
All die­se Vor­tei­le wur­den bei der Ska­lie­rung auf die neue Antriebs­grö­ße 4 über­nom­men. Durch die grö­ße­ren Nenn­wei­ten macht GEMÜ alle genann­ten Pro­dukt­vor­zü­ge für sei­ne Kun­den bereits in der Ver­sor­gungs- und Ver­tei­ler­ebe­ne (Faci­li­ty und Sub-Fab) einer Halb­lei­ter­fer­ti­gung nutzbar.
Die GEMÜ Grup­pe ent­wi­ckelt und fer­tigt Ventil‑, Mess- und Regel­sys­te­me für Flüs­sig­kei­ten, Dämp­fe und Gase. Bei Lösun­gen für ste­ri­le Pro­zes­se ist das Unter­neh­men Welt­markt­füh­rer. Das glo­bal aus­ge­rich­te­te, unab­hän­gi­ge Fami­li­en­un­ter­neh­men wur­de 1964 gegrün­det. Wei­te­re Infor­ma­tio­nen fin­den Sie unter www.gemu.group.com.