Die neuen Pumpen HiPace 350 und 450 von Pfeiffer Vacuum eignen sich für Anwendungen wie Massenspektrometrie, Elektronenmikroskopie, Messtechnik, Teilchenbeschleuniger und Plasmaphysik. Ihr Einsatzspektrum umfasst neben Analytik, Vakuumprozess- und Halbleitertechnik auch Anwendungen in den Bereichen Beschichtung, Forschung und Entwicklung sowie in der Industrie.
Die Pumpen bieten hohe Leistung bei geringem Gewicht und Platzbedarf. Mit einem Hybridlager, bestehend aus einem keramischen Kugellager auf der Vorvakuumseite und einem permanentmagnetischen Radiallager auf der Hochvakuumseite, verfügen diese Turbopumpen über eine zuverlässige, robuste Lagerung.
Die Rotorkonstruktion der Turbopumpen führt zu einem hohen Saugvermögen für leichte Gase, zu Kompatibilität mit Vorvakuumpumpen und hohem Gasdurchsatz sowie guter Kompression leichter Gase. Sie sorgt zudem für Kosteneffizienz und Flexibilität, da die Pumpen in jeder beliebigen Ausrichtung installiert werden können.
„Diese Turbopumpen haben ein ideales Verhältnis von Größe zu Leistung. Sie sind kompakte und leistungsstarke Turbopumpen im Segment Saugvermögen 300 bis 700 l/s und bieten ein gutes Saugvermögen für leichte Gase“, sagt Florian Henss, Leiter Produktmanagement Turbopumpen. Die integrierte Antriebselektronik bietet eine Vielzahl von Kommunikationsschnittstellen einschließlich ProfiNet- und EtherCat ohne Zunahme der Baugröße. Remote- und Sensorfunktionalitäten ermöglichen die Analyse von Pumpendaten zur Prozessüberwachung während des Betriebes. Ihr leiser Betrieb und der verbesserte Gasdurchsatz setzen in der Vakuumindustrie neue Maßstäbe. Die Pumpen sind nach Semi S2, UL, CSA und Nema 12 zertifiziert. Die Lagerwartung sowie der Austausch von Lagern können beim Kunden vor Ort durchgeführt werden. Die Pumpen laufen bis zu 5 Jahre wartungsfrei.