Modi­fi­zier­te Hochvakuum-Eckventile

Wie alle Hoch­va­ku­um-Eck­ven­ti­le der XL-Serie von SMC sind auch die neu­en Model­le mit einem Alu­mi­ni­um­ge­häu­se aus­ge­stat­tet. Dadurch pro­fi­tie­ren Anwen­der gleich mehr­fach: Das nied­ri­ge Gewicht, die hohe Bestän­dig­keit und die Resis­tenz gegen­über aggres­si­ven Medi­en wie etwa Flu­or­gas sind wich­ti­ge Vor­tei­le. Dazu ergibt sich dank der her­vor­ra­gen­den ther­mi­schen Leit­fä­hig­keit des Alu­mi­ni­ums eine weit­ge­hend homo­ge­ne Tem­pe­ra­tur­ver­tei­lung im Ven­til­kör­per. Dadurch wer­den Abla­ge­run­gen von Pro­zess­ga­sen im Ven­ti­lin­ne­ren zum Groß­teil ver­mie­den. Wer­den die Eck­ven­ti­le unter rei­nen Pro­duk­ti­ons­be­din­gun­gen ein­ge­setzt, bie­tet Alu­mi­ni­um einen wei­te­ren Vor­teil gegen­über Stahl: Das Ven­til­ge­häu­se ent­hält kei­ne Schwer­me­tal­le wie Nickel oder Chrom, daher ent­steht nur eine mini­ma­le Kon­ta­mi­na­ti­on der berüh­ren­den Medi­en. Da Alu­mi­ni­um kaum aus­gast, ist es beim Ein­satz der neu­en Eck­ven­ti­le der XL-Serie mög­lich, mit klei­ne­ren Vaku­um­pum­pen zu arbei­ten oder die Eva­ku­ie­rungs­zei­ten zu verkürzen.
Auf­grund die­ser spe­zi­el­len Vor­tei­le kön­nen die Eck­ven­ti­le der XL-Serie nach Auf­fas­sung von Tobi­as Hart­herz, Pro­duct Manage­ment bei SMC Deutsch­land vor allem in den Vor­pro­zes­sen der Halb­lei­ter­indus­trie punk­ten. Kon­kret las­sen sich hier die Sput­ter- und CVD-Anla­gen sowie die Anla­gen zum Ätzen und Plas­ma­ät­zen her­vor­he­ben. Aber auch in der Nah­rungs­mit­tel­in­dus­trie und der Medi­zin­tech­nik sieht er vie­le Anwen­dungs­mög­lich­kei­ten: „In Vaku­um-Tro­cken­schrän­ken, Vaku­um-Gefrier­trock­nungs­an­la­gen, Sauer­stoff­re­du­zie­rungs­an­la­gen oder Vaku­um-Fil­ter­sys­te­men kön­nen die Eck­ven­ti­le der Serie XL ihre Stär­ken voll ausspielen.“

Zwei Dich­tungs­op­tio­nen verfügbar

Durch die gro­ße Aus­wahl an Flansch­grö­ßen in den Nenn­wei­ten von 16 bis 80 mm las­sen sich die Eck­ven­ti­le der Serie XL fle­xi­bel inte­grie­ren. Als Dich­tungs­va­ri­an­te kön­nen Anwen­der zwi­schen zwei Aus­füh­run­gen wäh­len: Neben der Fal­ten­balg­dich­tung steht auch eine Vari­an­te mit O‑Ringdichtung für kür­ze­re Takt­zei­ten zur Verfügung.
Wer sich für die Eck­ven­ti­le mit Fal­ten­balg­dich­tung ent­schei­det, kann einen not­wen­di­gen Aus­tausch spie­lend leicht erle­di­gen: Ein spe­zi­el­les Aus­tausch-Set ent­hält ledig­lich die Fal­ten­balg-Bau­grup­pe. Der Pneu­ma­ti­k­an­trieb muss daher nicht mehr unbe­dingt mit aus­ge­tauscht wer­den. Tests bei SMC haben gezeigt, dass die neu kon­zi­pier­te Bau­form eine Lebens­dau­er von bis zu 2 Mil­lio­nen Zyklen erreicht, wenn die emp­foh­le­ne Eva­ku­ie­rungs­rich­tung ein­ge­hal­ten wird. Getes­tet wur­de ein Eck­ven­til mit 80 mm Flanschgröße.

Mit Heiz­ele­ment bis 150 °C einsetzbar

Optio­nal kön­nen die Model­le der Serie XL mit einem Heiz­ele­ment und einem hit­ze­be­stän­di­gen Signal­ge­ber bestellt wer­den, der eine zwei­far­bi­ge Anzei­ge besitzt. In die­ser Aus­füh­rung sind die Eck­ven­ti­le für Ein­satz­tem­pe­ra­tu­ren bis 150 °C geeignet.