Ers­ter gemein­sa­mer Messeauftritt

Die drei Unter­neh­men der Busch Group (Busch Vacu­um Solu­ti­ons, Pfeif­fer Vacu­um und cen­tro­therm clean solu­ti­ons) stel­len gemein­sam auf der Mes­se Semi­con West 2024 aus. Dies ist ein wich­ti­ger Mei­len­stein, da es der ers­te gemein­sa­me Mes­se­auf­tritt der Busch Group in den USA ist. Besucher:innen der Semi­con West dür­fen sich auf ein­drucks­vol­le Prä­sen­ta­tio­nen über Vaku­um­tech­no­lo­gie und Abgas­rei­ni­gungs­sys­te­me freu­en, die zur Unter­stüt­zung der Halb­lei­ter-Fabs und Sub-Fabs die­nen. Die dies­jäh­ri­ge Stand­bot­schaft der Busch Group lau­tet „Ulti­ma­te Pro­duct Ran­ge“ und „Total Fab Solu­ti­ons“. Tur­gay Ozan, Geschäfts­füh­rer von Busch Vacu­um Solu­ti­ons und Pfeif­fer Vacu­um in den USA, erläu­tert: „Wir sind als füh­ren­der Part­ner für Kom­plett­lö­sun­gen in der Halb­lei­ter­indus­trie ein­zig­ar­tig auf­ge­stellt. Unse­re umfang­rei­che Pro­dukt­pa­let­te bie­tet Unter­stüt­zung von Rein­räu­men bis zur Sub-Fab. Sie umfasst Abgas­rei­ni­gungs­sys­te­me, Vaku­um­pum­pen, Kon­ta­mi­na­ti­ons­ma­nage­ment, Leck­su­che, Ven­ti­le, Sub-Fab Manage­ment und den Ser­vice für alle Marken.“

Leck­su­cher ASM 392

Der ASM 392 von Pfeif­fer Vacu­um ist Semi-S2-kon­form. Mit sei­ner inte­grier­ten Tur­bo­mo­le­ku­lar-Vaku­um­pum­pe für schnel­le Eva­ku­ie­rung und kur­ze Ansprech­zei­ten eig­net er sich opti­mal für gro­ße Prüf­ob­jek­te. Dank sei­ner ölfrei­en und berüh­rungs­los arbei­ten­den Vor­pum­pe zusam­men mit der leis­tungs­star­ken Hoch­va­ku­um­pum­pe ist er für Prü­fun­gen in Rein­raum­um­ge­bun­gen ideal.

Elek­tro­ven­ti­le Seri­es E

Erst­mals auf einer Mes­se wird die neue Seri­es E von Pfeif­fer Vacu­um prä­sen­tiert: ein für die ein­fa­che Inte­gra­ti­on in Hoch­va­ku­um­an­wen­dun­gen ent­wi­ckel­tes elek­tri­sches Eck­ven­til. Die Seri­es E ver­eint die fort­schritt­li­che elek­tri­sche Betä­ti­gung mit Ener­gie­ef­fi­zi­enz. Die Ven­ti­le bie­tet dadurch eine her­vor­ra­gen­de Steue­rung, Zuver­läs­sig­keit und Kosteneinsparungen.

Tur­b­opum­pe ATH 2804 M

Mit ihrer gerin­gen Bau­grö­ße bie­tet die magnet­ge­la­ger­te Tur­b­opum­pe ATH 2804 M von Pfeif­fer Vacu­um einen hohen Gas­durch­satz und eig­net sich per­fekt für Pro­zes­se in der Halbleiterfertigung.

Tur­b­opum­pe HiP­ace 3400 IT

Die HiP­ace 3400 IT wur­de spe­zi­ell für anspruchs­vol­le Anwen­dun­gen der Ionen­im­plan­ta­ti­on ent­wi­ckelt und setzt als kom­pak­tes­te Tur­b­opum­pe ihrer Klas­se Maß­stä­be. Die Flansch­grö­ße DN 320 erhöht das Saug­ver­mö­gen für Pro­zess­ga­se um 30 Pro­zent. Ihr ein­zig­ar­ti­ges Lager­kon­zept und die beschich­te­te Rotor-Kon­struk­ti­on schützt sowohl das Ver­fah­ren als auch die Pum­pe und bie­tet Lang­le­big­keit sowie Zuverlässigkeit.

Ölfreie Pum­pen TORRI BD 0100/0600

TORRI BD von Busch Vacu­um Solu­ti­ons bie­ten kur­ze Abpump­zei­ten für Schleu­sen­kam­mern. Sie gehö­ren zu den kleins­ten, leich­tes­ten und ener­gie­ef­fi­zi­en­tes­ten ölfrei­en mehr­stu­fi­gen Dreh­kol­ben-Vaku­um­pum­pen auf dem Markt.

Ther­mi­sches Abgas­rei­ni­gungs­sys­tem CT-TW‑H

Die Tech­no­lo­gie von cen­tro­therm clean solu­ti­ons kom­bi­niert die Vor­tei­le der Ver­bren­nung mit dem elek­trisch beheiz­ten Kon­zept der Abluft­be­hand­lung. Dies führt zu gerin­ge­ren Betriebs­kos­ten und weni­ger Sekun­där­emis­sio­nen. Das CT-TW‑H kann das mole­ku­la­re Pro­zess­gas NF3 mit hoher Abscheide­ef­fi­zi­enz und extrem nied­ri­gen NOx-Emis­sio­nen zer­stö­ren. Damit bie­tet das Sys­tem eine nach­hal­ti­ge Lösung mit mini­ma­lem CO₂-Fuß­ab­druck für die CVD- und Metallätzverfahren.

Besucher:innen der Semi­con West kön­nen sich vom 9. bis 11. Juli 2024 am Stand 733 in der Süd­hal­le des Mosco­ne Cen­ter in San Fran­cis­co mit Exper­ten von Busch Vacu­um Solu­ti­ons, Pfeif­fer Vacu­um und cen­tro­therm clean solu­ti­ons austauschen.