Detek­ti­on von Stick­stoff­spu­ren bis 0,1 parts per Billion

Hoch­rei­ne Gase sind für zahl­rei­che Anwen­dun­gen in der Halb­lei­ter- und Elek­tronik­in­dus­trie uner­läss­lich. Um auch gerings­te Spu­ren von Stick­stoff in Argon und Heli­um detek­tie­ren zu kön­nen, hat LDe­tek sei­nen Ana­ly­sa­tor LD8000 Plus wei­ter ver­bes­sert – die Nach­weis­gren­ze liegt jetzt bei 0,1 parts per Bil­li­on . Das Gerät basiert auf dem paten­tier­ten Plas­ma-Emis­si­ons­de­tek­tor von LDe­tek und ist spe­zi­ell auf die Bedürf­nis­se der Halb­lei­ter­indus­trie ausgelegt.

Der opti­mier­te LD8000 Plus bie­tet nicht nur eine schnel­le Ansprech­zeit von 60 Sekun­den, son­dern auch eine höhe­re Sta­bi­li­tät. Die­se wird erreicht, indem Inter­fe­ren­zen und Tem­pe­ra­tur­drift durch die kon­ti­nu­ier­li­che Dif­fe­renz­mes­sung zwi­schen Mess­gas und stick­stoff­frei­em Refe­renz­gas auf ein Mini­mum redu­ziert wer­den. Das macht die­sen Ana­ly­sa­tor zum effek­tivs­ten Gerät, das der­zeit auf dem Markt ist, um Spu­ren­stick­stoff im sub-parts per Bil­li­on-Bereich zu mes­sen. Hin­zu kom­men opti­mier­te Vaku­um­be­din­gun­gen sowie eine Beschich­tung der Gas­lei­tung, um Ver­schmut­zun­gen und eine Absorp­ti­on der Ober­flä­che zu ver­hin­dern. Wei­te­re Vor­tei­le sind eine Bypass-Pro­ben­fluss­kon­trol­le zur Sicher­stel­lung hoher Rein­heit, gerin­ger Mess­gas­ver­brauch und ein inte­grier­ter Boot­loa­der für ein Soft­ware-Update über Ethernet.