Sauerstoffanalysator für Gasreinheit

Michell Instru­ments bie­tet Kun­den aus den Indus­trie­be­rei­chen Halb­lei­ter und Gas­her­stel­lung einen spe­zi­ell geeig­ne­ten Spu­ren­sauer­stoff­ana­ly­sa­tor an, der die Qua­li­tät von ultra­hoch­rei­nen (UHP) Gasen sicher­stellt. Der Sauer­stoff Ana­ly­sa­tor PI2-UHP von Ana­ly­ti­cal Indus­tries, der Schwes­ter­fir­ma von Michell in der Fir­men­grup­pe Pro­cess Sen­sing Tech­no­lo­gies (PST), ist kos­ten­ef­fek­tiv und hoch­wer­tig aus­ge­stat­tet.

Mit einer unte­ren Nach­weis­gren­ze von weni­ger als 100 PPT wur­de er spe­zi­ell für die Mes­sung von Kon­ta­mi­nie­run­gen durch Sauer­stoff­spu­ren in UHP Gasen ent­wi­ckelt. Der Pico-Ion elek­tro­che­mi­sche Sen­sor ist war­tungs­frei und Rou­ti­ne Kali­brie­run­gen sind dank der Auto-Kali­brie­rung und dem inte­grier­ten Auf­be­rei­tungs­sys­tem ein­fach und schnell durch­zu­füh­ren. Die exter­ne Zufüh­rung von Elek­tro­ly­ten ist nicht not­wen­dig.

Zur Sicher­stel­lung der voll­stän­di­gen Frei­heit von Sauer­stoff im Null­gas, wur­de ein Sauer­stoff-Scrub­ber als Bestand­teil in das Auf­be­rei­tungs­sys­tems inte­griert. Ein Bypass-Vier­we­ge­ven­til iso­liert und schützt den Sen­sor vor hohen Sauer­stoff­ge­hal­ten wäh­rend der Inbe­trieb­nah­me, bei der Umschal­tung von Mess­li­ni­en und wäh­rend der War­tung.