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Grü­ner Was­ser­stoff für die Halbleiterindustrie 

18. August 2021
in Anlagen & Komponenten, Fokus
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Das Halb­lei­ter­un­ter­neh­men Infi­ne­on Tech­no­lo­gies Aus­tria und das Indus­trie­ga­se- und Engi­nee­ring­un­ter­neh­men Lin­de haben einen Ver­trag über den Bau einer Anla­ge für nach­hal­tig erzeug­ten Was­ser­stoff in der Halb­lei­ter­indus­trie unter­zeich­net. Die im Rah­men des For­schungs­pro­jek­tes „H2Pioneer“ geplan­te Demons­tra­ti­ons­an­la­ge zur Erzeu­gung von hoch­rei­nem Was­ser­stoff aus erneu­er­ba­ren Ener­gie­quel­len in Vil­lach wird Anfang 2022 in Betrieb gehen. 
Die Halb­lei­ter­indus­trie ist eine der dyna­mischs­ten, tech­nisch anspruchs­volls­ten und wett­be­werbs­in­ten­sivs­ten Bran­chen der Welt mit nach wie vor hohem Wachs­tums­po­ten­zi­al. Infi­ne­on baut aktu­ell die Fer­ti­gungs­ka­pa­zi­tä­ten am Stand­ort in Vil­lach aus und inves­tiert 1,6 Mil­li­ar­den Euro in eine neue High-Tech Chip­fa­brik für Leis­tungs­elek­tro­nik („Ener­gie­spar­chips“). Mit der Nach­fra­ge nach Mikro­elek­tronik­lö­sun­gen steigt auch der Bedarf der in der Pro­duk­ti­on benö­tig­ten Gase und Che­mi­ka­li­en – dar­un­ter hoch­rei­ner Was­ser­stoff als Pro­zess­gas. Die­ser Was­ser­stoff, der bis­her per LKW aus Deutsch­land gelie­fert wur­de, wird künf­tig direkt am Pro­duk­ti­ons­stand­ort von Infi­ne­on in Vil­lach aus erneu­er­ba­ren Ener­gien erzeugt wer­den. 
Tho­mas Rei­sin­ger, Vor­stand für Ope­ra­ti­ons bei Infi­ne­on Tech­no­lo­gies Aus­tria, sieht die Was­ser­stoff­an­la­ge als inte­gra­len Bestand­teil eines nach­hal­ti­gen Stand­ort­aus­baus: „Eine res­sour­cen­scho­nen­de Pro­duk­ti­on ist heu­te ein wesent­li­cher Hebel auf dem Weg zur Kli­ma­neu­tra­li­tät. Mit dem Pro­duk­ti­ons­start unse­rer neu­en Chip­fa­brik für Leis­tungs­elek­tro­nik Anfang August 2021 steigt auch der Bedarf an Was­ser­stoff für den Fer­ti­gungs­pro­zess kon­ti­nu­ier­lich. Mit der Umset­zung der Elek­tro­ly­se-Anla­ge am Infi­ne­on-Stand­ort Vil­lach sind wir für die Zukunft in zwei­er­lei Hin­sicht gerüs­tet: mit einem wich­ti­gen Bei­trag zum Kli­ma­schutz wie auch der not­wen­di­gen Ver­sor­gungs­si­cher­heit.“ 

Geför­der­tes For­schungs­pro­jekt 

Die Indus­trie­part­ner Lin­de, Infi­ne­on Tech­no­lo­gies Aus­tria und VERBUND trei­ben gemein­sam mit ihren For­schungs­part­nern, der HyCen­tA Rese­arch GmbH, dem Ener­gie­in­sti­tut an der Johan­nes Kep­ler Uni­ver­si­tät (JKU) Linz und der Vor­zei­ge­re­gi­on WIVA P&G die­se nach­hal­ti­ge Lösung als wich­ti­gen Schritt in Rich­tung einer „Tech for Green Indus­try“ vor­an: Geför­dert wird das Pro­jekt im Rah­men der FTI-Initia­ti­ve „Vor­zei­ge­re­gi­on Ener­gie“ des Kli­ma- und Ener­gie­fonds, dotiert aus Mit­teln des Kli­ma­schutz­mi­nis­te­ri­ums (BMK). Pres­se­mit­tei­lung 
Kli­ma­schutz­mi­nis­te­rin Leo­no­re Gewess­ler: „Was­ser­stoff aus erneu­er­ba­ren Ener­gien wird eine wich­ti­ge Rol­le bei der Errei­chung der Kli­ma­neu­tra­li­tät bis 2040 spie­len, gera­de in der Indus­trie. Denn die Emis­sio­nen müs­sen in allen wirt­schaft­li­chen Sek­to­ren gesenkt wer­den. Durch Inves­ti­tio­nen und För­de­run­gen in Ener­gie­in­no­va­tio­nen leis­ten die hei­mi­schen Indus­trie­be­trie­be dar­über hin­aus einen wich­ti­gen Bei­trag zur wirt­schaft­li­chen Erho­lung nach der Coro­na­kri­se.” 
The­re­sia Vogel, Geschäfts­füh­re­rin des Kli­ma- und Ener­gie­fonds: „Grü­ner Was­ser­stoff ist ein extrem knap­pes Gut. Dank H2Pioneer ent­steht ein Leucht­turm, der inter­na­tio­nal auf­zeigt, wel­che Vor­tei­le Was­ser­stoff für die Indus­trie bringt. Durch die betei­lig­ten Part­ner, ein star­kes und schlag­kräf­ti­ges Kon­sor­ti­um, ent­steht ein hoch­in­no­va­ti­ves Pro­jekt, das ganz maß­geb­lich zur Reduk­ti­on von Treib­haus­ga­sen in Öster­reich bei­trägt. Gleich­zei­tig eröff­net es hei­mi­schen Unter­neh­men Export­chan­cen auf dem Welt­markt.“ 

Kon­kre­te Umset­zung star­tet 

Kon­struk­ti­on, Bau und Betrieb der ers­ten Anla­ge zur Vor-Ort-Erzeu­gung von grü­nem Was­ser­stoff in der Halb­lei­ter­indus­trie erfolgt aus einer Hand durch Lin­de, einem Welt­markt­füh­rer auf dem Gebiet der Was­ser­stoff­tech­no­lo­gie. Die gesam­te Anla­ge besteht aus einer con­tai­ne­ri­sier­ten PEM-(Proton Exchan­ge Mem­bra­ne) Elek­tro­ly­se­an­la­ge, die Lin­de schlüs­sel­fer­tig nach Vil­lach lie­fert. Lin­de berei­tet das dort pro­du­zier­te Gas in einem kryo­ge­nen Ver­fah­ren auf, so dass hoch­rei­ner Was­ser­stoff für Infi­ne­on bereit­ge­stellt wer­den kann. Dar­über hin­aus lie­fert Lin­de ein Flüs­sig­was­ser­stoff-Ver­sor­gungs­sys­tem, um die Belie­fe­rung der Halb­lei­ter­pro­duk­ti­on rund um die Uhr zu gewähr­leis­ten. Mit­tels nach­hal­tig erzeug­ten Stroms kann die Anla­ge bis zu 800 kg grü­nen Was­ser­stoff pro Tag her­stel­len. 

„Wir freu­en uns, gemein­sam mit Infi­ne­on den Ein­satz von grü­nem Was­ser­stoff in der Halb­lei­ter­indus­trie voranzutreiben.“
—  Richard Hagen­feldt, Geschäfts­füh­rer Lin­de Elec­tro­nics GmbH

Die lang­fris­ti­ge nach­hal­ti­ge Aus­rich­tung der Pro­duk­ti­on ist für Lin­de von hoher Bedeu­tung, weil der Geschäfts­er­folg unse­rer Kun­den und damit auch der eige­ne Erfolg davon abhän­gen. Der Ein­satz unse­rer Anla­gen­ex­per­ten und unse­rer fort­schritt­li­chen Tech­no­lo­gien sind essen­ti­el­le Bau­stei­ne, die zur nach­hal­ti­gen Ener­gie­er­zeu­gung in der Halb­lei­ter­indus­trie bei­tra­gen,“ so Hagen­feldt wei­ter. 
Phil­ipp Schau­t­schick, Abtei­lungs­lei­ter Abwick­lung bei Lin­de Elec­tro­nics erklärt: „Lin­de ist stolz dar­auf, ein Vor­rei­ter für die Pro­duk­ti­on von grü­nem Was­ser­stoff für die Halb­lei­ter­indus­trie zu sein. Mit die­ser Anla­ge sind wir in der Lage, den stei­gen­den Kun­den­be­darf an hoch­rei­nem Was­ser­stoff öko­lo­gisch nach­hal­tig zu bedie­nen und damit eine signi­fi­kan­te CO2-Redu­zie­rung bei der Pro­duk­ti­on zu erzie­len. Wir sehen dar­in einen bedeu­ten­den Mei­len­stein auf dem Weg zu mehr Nach­hal­tig­keit und einer CO2-armen Halb­lei­ter­indus­trie.“ 

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