Zur Kalibrierung der hochpräzisen Gasanalysatoren und ‑chromatographen, wie sie in der Elektronik- und Halbleiterindustrie eingesetzt werden, sind Gasgemische mit exakten Mischungsverhältnissen unverzichtbar. Der LDGDSA bietet dem Anwender die Möglichkeit, Gasmischungen mit der nötigen Genauigkeit, nach Bedarf, selbst herzustellen. Auf diese Weise lassen sich Zeit und Kosten für Kalibrierungen und Routinewartungen einsparen.
Gesteuert wird das automatische Gasverdünnungssystem über die Anwendungssoftware LDChroma von LDetek. Um das gewünschte Gasgemisch zu erhalten, muss der Bediener nur den Sollwert angeben – das System passt den Durchfluss und das Verdünnungsverhältnis selbstständig an. Die Software ermöglicht eine vollständige Automatisierung und kann aus der Ferne gesteuert werden. Zudem lässt sich das LDGDSA nahtlos mit dem MultiDetek2-Gaschromatographen verbinden, was die Nutzung und Bedienung noch einfacher macht. Ein pneumatisches Absperrventil schaltet das Gas ab, sobald sich das Gerät im Stand-by-Modus befindet. Dies reduziert nicht nur die Gasverluste, sondern verkürzt auch die Spülphase während der Inbetriebnahme, wodurch das Gerät schnell einsatzfähig ist. Gasmischungen im ppt-Bereich sind mit Bypass-Druckreglern leicht realisierbar.
Das LDGDSA zeichnet sich außerdem durch einen Gasdurchfluss- und Verdünnungsbereich aus, mit dem mehr als ein Gerät versorgt werden kann, so dass das Gasverdünnungssystem für mehrere Anwendungen voll genutzt werden kann. Ein optional integriertes Membran-Auswahlventil für zwei Gasströme ermöglicht zwei Messbereichseinlässe und zwei Nulleinlässe. Die verschiedenen Gasarten und Durchflusstabellen werden einfach über LDChroma verwaltet. Dadurch kann das LDGDSA effektiv als zwei Geräte in einem betrieben werden.
Nachhaltige und zukunftssichere Automatisierung
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