Neu­es elek­tro­mo­to­ri­sches Regelventil

Die Halb­lei­ter­indus­trie stellt hohe Anfor­de­run­gen an die Ventil‑, Mess- und Regel­tech­nik. Zuneh­mend rei­chen pneu­ma­tisch betä­tig­te Ven­ti­le nicht mehr aus, um die Regel­an­for­de­run­gen füh­ren­der Her­stel­ler von Pro­zes­se­quip­ment zu erfül­len. Aus die­sem Grund hat der GEMÜ das elek­tro­mo­to­risch betä­tig­te Regel­ven­til C53 iCom­Li­ne entwickelt.
 Das 2/2‑Wege Mem­bran­sitz­ven­til C53 iCom­Li­ne wur­de für prä­zi­se und anspruchs­vol­le Regel­an­wen­dun­gen in der Halb­lei­ter­fer­ti­gung ent­wi­ckelt. Das Dicht­prin­zip des Ven­tils beruht auf der bewähr­ten PD-Tech­no­lo­gie, bei der Antrieb und Medi­um durch einen konus­för­mi­gen Regel­ke­gel aus bestän­di­gem PTFE getrennt wer­den. Da Regel­ke­gel­kon­tur, Antriebs­hub und Anschluss­grö­ßen kun­den­spe­zi­fisch ange­passt wer­den kön­nen, erfüllt  C53 iCom­Li­ne nahe­zu alle Regel- und Durch­fluss­an­for­de­run­gen der hoch­tech­no­lo­gi­schen Halb­lei­ter­indus­trie. Durch die Kom­bi­na­ti­on des prä­zi­sen Schritt­mo­tors mit hoch­rei­nen Kör­per­werk­stof­fen eig­net sich das Ven­til ins­be­son­de­re für Lithographie‑, CMP‑, und Ätz­pro­zes­se sowie für Anwen­dun­gen im Ana­ly­tik-Bereich in jeder Halbleiterfertigung.
Das Mem­bran­sitz­ven­til C53 iCom­Li­ne kann dabei nicht nur als ein­fa­ches Durch­gangs­ven­til ver­baut wer­den. Eine Inte­gra­ti­on in einen M‑Block PC50 iCom­Li­ne ist eben­falls mög­lich um kom­ple­xe Fließ­sche­men auf mini­ma­lem Raum zu rea­li­sie­ren. Bei der Bear­bei­tung von Sili­zi­um-Wafern kann ein Mehr­we­ge­ven­til­block bei­spiels­wei­se in FOUP-Clea­ner zur Tem­pe­ra­tur­re­ge­lung des DI-Was­sers ein­ge­setzt wer­den. Dazu kön­nen in den M‑Block PC50 iCom­Li­ne Rück­schlag­ven­ti­le und Sen­so­ren inte­griert werden.