High Puri­ty 3/2‑Wege Membransitzventil

Das Ingel­fin­ger Tech­no­lo­gie­un­ter­neh­men GEMÜ hat sein ers­tes 3/2‑Wege Mem­bran­sitz­ven­til für hoch­rei­ne Anwen­dun­gen ent­wi­ckelt. Das C58 iCom­Li­ne ver­fügt über einen Zulauf und zwei mög­li­che Aus­gän­ge. Zudem ist der Betrieb in ent­ge­gen­ge­setz­ter Durch­fluss­rich­tung mög­lich und die Schalt­stel­lung kann über eine opti­sche Sicht­an­zei­ge detek­tiert werden.

Seit vie­len Jah­ren wird die Bau­rei­he iCom­Li­ne des Her­stel­lers in der Halb­lei­ter­indus­trie ein­ge­setzt und Kun­den schät­zen die zahl­rei­chen Vor­tei­le der Bau­wei­se sowie die Viel­zahl mög­li­cher Anwendungen.

Das neue 3/2‑Wege Pro­zess­ven­til eig­net sich für hoch­rei­ne und aggres­si­ve Medi­en. Alle medi­en­be­rüh­ren­den Tei­le bestehen aus rei­nem und sehr bestän­di­gem PTFE. Es besteht ein gutes Ver­hält­nis zwi­schen Foot­print und Durch­fluss­men­ge. Daher eig­net sich die­ses Mem­bran­sitz­ven­til beson­ders für Anwen­dun­gen im Pro­zess­be­reich sowie auf der Ver­tei­ler­ebe­ne einer Halbleiterfertigung.