Eine neue Generation von Dampfdosiermodulen der VDM-Serie wurde für die direkte Injektion von Precursoren in Prozesskammern entwickelt. Diese kompakten Systeme umfassen auf kleinsten Raum mit einem Gehäuse einen präzisen Massedurchfluss-Flüssigkeitsregler, einen oder zwei Massendurchflussregler für das Trägergas und eine automatisch temperaturgeregelte Misch- und Verdampfungseinheit. Die Flüssigkeit wird im kalten Zustand zur Verfügung gestellt. Das Verdampfermodul bringt das Fluid definiert und präzise geregelt in die Gas-Dampfphase zum Prozess. Die Module sind mit einem 1,8”-TFT-Display und Tasten ausgestattet, Es ist sowohl eine lokale Bedienung und Auslesung als auch eine externe Steuerung möglich. Die Systeme können z.B. auch über digitale Kommunikation (RS232 oder FLOW-BUS) betrieben werden. Optional sind die Anlagen mit einem zusätzlichen Massendurchflussregler für Verdünnungen und mit zusätzlicher Begleitheizung des Ausgangs bis zum Prozess lieferbar.
Die kompakten „Plug-and-work“-Module können (gesättigte) Gasflüsse im Bereich von 100 mln/min bis 10 ln/min erzeugen. Die angewandte CEM-Technologie (Controlled Evaporation Mixing) ist für Prozesse unter atmosphärischen Bedingungen oder unter Vakuum geeignet und in der Lage, Flüssigkeitsmischungen ebenso wie feste Teile in Lösungsmitteln zu verdampfen. Spezielle Purge- und Evakuierungsanschlüsse ermöglichen den Betrieb auch mit sehr reaktiven Medien. Die Verdampfer der VDM-Serie sind für Dampfabscheidungs- und Beschichtungsprozesse bei der Herstellung von Halbleiterchips, Displays und Solarzellen ideal geeignet. Außerdem können die Module für die Kalibrierung von Analysegeräten wie Gaschromatographen und Massenspektrometern, für die Dosierung von Anästhetika sowie für die Befeuchtung von Brennstoffzellen eingesetzt werden.
